0.0001 0.0001 16 16 silicon 0.0001 0.0001 16 silicon 0.0001 0.0001 16 silicon 0.0001 0.0001 16 silicon 0.0001 0.0001 16 silicon 0.0001 0.0001 16 silicon 0.0001 0.0001 16 silicon